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PRA三手指
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項目 參數 晶圓尺寸 6/8寸 X1軸 行程 385mm 速度 3750mm/s X2軸 行程 385mm 速度 3750mm/s X3軸 行程 385mm 速度 3750mm/s Z軸 行程 1100mm 速度 1600mm/s T軸 行程 330° 速度 150rpm 重復定位精度 ±0.1mm;±0.1° 潔凈度 Class 1@0.1μm 重量 ≈150kg FORK 鋁合金+PEEK托舉
(X1、X2為吸附)Sensor波長 >600nm 廠務 電源 AC220V;50/60HZ 真空 ≤-80kPa;20NL/min 環境 溫度 15-25℃ 濕度 20-60% -
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